固体燃料电池简称SOFC,属于第三代燃料电池,它是将反应物的化学能直接转化为电能的电化学装置。等离子喷涂工艺制备固体燃料电池的关键部件“三合一电极”能够形成多孔电极和致密的电解质,且生产周期短,从而大大降低了生产成本,成为当今制造三合一电极的主流技术。下图为德国制造全球首艘固体燃料电池驱动的静音潜艇U31于2003年下水。